清研電子干法基超容裝置落地廣東東莞，為半導(dǎo)體晃電治理樹立新典范
2025年8月4日，清研電子董事長王臣、副總經(jīng)理李鑫受邀出席東莞半導(dǎo)體制造頭部企業(yè)干法基超容電能質(zhì)量治理裝置投產(chǎn)儀式，該裝置能夠?qū)崿F(xiàn)3秒內(nèi)斷電條件下，設(shè)備依然安全、穩(wěn)定發(fā)揮性能，有效解決了電能質(zhì)量治理系統(tǒng)晃電問題，充分體現(xiàn)了清研電子干法極片的性能優(yōu)勢。
在半導(dǎo)體制造中，晃電是電能質(zhì)量治理的常見難題。它會導(dǎo)致晶圓報廢、設(shè)備突然宕機(jī)、控制系統(tǒng)失靈、維護(hù)成本飆升、生產(chǎn)中斷等問題，且無法滿足SEMI F47行業(yè)抗擾度標(biāo)準(zhǔn)。對此，本系統(tǒng)采用的晃電治理措施如下：預(yù)防階段，采用雙回路供電、動態(tài)電壓恢復(fù)器（DVR）和干法超容儲能實現(xiàn)毫秒級補(bǔ)償；應(yīng)對環(huán)節(jié)，干法超容儲能保障關(guān)鍵負(fù)載供電，借助智能減載系統(tǒng)保供核心設(shè)備；恢復(fù)時期，通過數(shù)據(jù)備份和自愈控制讓生產(chǎn)快速復(fù)原。
晃電（電壓暫降）的危害
1、晃電會引起敏感控制器誤動作（引起跳閘）,造成包括計算機(jī)系統(tǒng)失靈、自動化裝置停頓或誤動作、變頻調(diào)速器停頓等故障；引起接觸器脫扣或低壓保護(hù)啟動，造成電動機(jī)、電梯等停頓；引起高溫光源（碘鎢燈）熄滅，造成公共場所失去照明等。
2、晃電對諸多行業(yè)都會造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失，如半導(dǎo)體產(chǎn)品硅片損壞及浪費，汽車發(fā)動機(jī)的產(chǎn)品報廢，顯示器產(chǎn)品報廢，流水生產(chǎn)線的中斷或紊亂等等。
3、晃電不僅造成經(jīng)濟(jì)損失，還可能造成人員傷亡和重大安全生產(chǎn)事故。例如，醫(yī)院中用計算機(jī)控制的腦外科、心血管外科、眼科手術(shù)等，發(fā)生電壓跌落造成設(shè)備不能正常工作，以致產(chǎn)生嚴(yán)重后果；
4、在石油化工行業(yè)，由于晃電（電壓暫降）引發(fā)控制系統(tǒng)誤動作，造成壓力流量的短時間失控危險等等。
晃電治理的綜合效益
1、通過對電壓暫降、暫升的治理，防止設(shè)備故障停機(jī)損失，避免原材料浪費和生產(chǎn)設(shè)備的損壞。
2、避免設(shè)備使用劣質(zhì)電力，降低工廠維護(hù)成本，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
3、避免因電壓暫降造成數(shù)據(jù)和控制系統(tǒng)紊亂而導(dǎo)致的事故。
4、為用戶節(jié)省維護(hù)及更換電池費用，同時免除廢舊電池的處置問題，避免對環(huán)境造成污染。
5、無諧波注入電網(wǎng)，無需傳統(tǒng)UPS所需附加的濾波設(shè)備投資。
干法基超級電容器在晃電治理中的工作原理
電網(wǎng)電壓正常時：電網(wǎng)電壓正常范圍內(nèi)時，DVR裝置處于電網(wǎng)供電模式，電網(wǎng)直接給負(fù)載供電，同時 DVR變換器從輸出側(cè)獲取能量給干法基超級電容充電；
電網(wǎng)出現(xiàn)晃電（電壓暫降）時：電網(wǎng)電壓暫降時， DVR裝置處于供電模式，干法基超級電容的能量經(jīng) DVR變換器轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)電壓源給負(fù)載供電。
其中，基于干法基超級電容器在應(yīng)對晃電問題上具有高可靠性、高穩(wěn)定性及高信賴性的優(yōu)勢。清研電子創(chuàng)新研發(fā)的干法基超級電容器，具備毫秒級充放電速度、響應(yīng)速度小于5ms、突破100萬次的循環(huán)壽命、較傳統(tǒng)蓄電池提升50~100倍功率密度等優(yōu)點。經(jīng)測試，該裝置能在3~5秒晃電條件下實現(xiàn)瞬間急速供電，且使用壽命長久，更換成本及維護(hù)工作量大幅降低，是晃電治理的優(yōu)質(zhì)之選。這一突破標(biāo)志著我國在高端半導(dǎo)體配套電力保障領(lǐng)域取得關(guān)鍵技術(shù)自主權(quán)。
此次清研電子與東莞半導(dǎo)體制造頭部企業(yè)達(dá)成合作，不僅是干法基超級電容器在電能質(zhì)量治理場景的首次規(guī)?；涞兀蔀榍逖须娮訌募夹g(shù)領(lǐng)先躍升為產(chǎn)業(yè)標(biāo)桿的分水嶺。依托合作單位開發(fā)的嚴(yán)苛的品控體系與全球交付網(wǎng)絡(luò)，清研電子的干法工藝得以在真實工況中完成“最后1公里”驗證，由此實現(xiàn)了由干法技術(shù)研發(fā)到系統(tǒng)級商業(yè)閉環(huán)的關(guān)鍵一躍，也為后續(xù)10 GW級的擴(kuò)產(chǎn)和下一代120 Wh/kg高比能量型超級電容器技術(shù)迭代提供了可復(fù)制的產(chǎn)業(yè)范式。
本系統(tǒng)可廣泛運用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，AI數(shù)據(jù)中心，醫(yī)療中心等對電能質(zhì)量高要求的供電系統(tǒng)中。
